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簡(jiǎn)要描述:Granville-Phillips®的Micro-lon®Plus356真空規(guī)模塊合并了新的微型Conductron®熱損失傳感器和經(jīng)驗(yàn)的Micro-lon規(guī)管技術(shù)于一個(gè)真空封套中,從而擴(kuò)展了從高真空到大氣壓的壓力測(cè)量。
詳細(xì)介紹
品牌 | Granville-Phillips | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
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加工定制 | 否 |
Granville-Phillips系列356 Micro-lon Plus模塊(GP 356型真空計(jì))
真空測(cè)量解決方案
Granville-Phillips的 Micro-lon Plus真空規(guī)模塊合并了新的微型Conductron熱損失傳感器和經(jīng)驗(yàn)證的Micro-lon規(guī)管技術(shù)于一個(gè)真空封套中,從而擴(kuò)展了從高真空到大氣壓的壓力測(cè)量。
兩個(gè)傳感器合并在一個(gè)真空封套中節(jié)省了空間。真空系統(tǒng)控制通過使用熱損失傳感器來自動(dòng)激活和關(guān)閉電離規(guī)而得到簡(jiǎn)化。方便
的按鈕控制可以進(jìn)行模塊操作機(jī)兩個(gè)觸點(diǎn)繼電器的設(shè)定,無需通過電氣控制或計(jì)算機(jī)接口來實(shí)現(xiàn)。兩種型式的模塊可供選擇——帶模擬量輸出的RS-485接口或DeviceNet接口。
GP 356型真空計(jì)復(fù)合規(guī)管技術(shù)
要在一個(gè)跨度較寬的高真空系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)全壓力范圍的測(cè)量需要多個(gè)傳感器技術(shù)。以往這需要多個(gè)規(guī)管,多個(gè)真空連接口,以及多套電纜和電氣控制組件來實(shí)現(xiàn)。因此復(fù)合多傳感器技術(shù)于一個(gè)微型規(guī)管中有很大益處,只要傳感器之間互不干擾以及測(cè)量特性互不損壞。這些都由Micro-lon Plus設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了。它保留了Granville-Phillips的 Micro-lon規(guī)管設(shè)計(jì)的高性能同時(shí)配合新的微型熱損失傳感器在電離規(guī)中。新獲的Conductron熱損失傳感器是基于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的Convectron規(guī)管20多年的市場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)的理解和領(lǐng)悟而獲得的。寬量程、高性能和緊湊尺寸使得Micro-lon Plus模塊成為高真空系統(tǒng)壓力測(cè)量的明智選擇。
GP 356型真空計(jì)剖面圖
(GP 356型真空計(jì))Micro-lon Plus規(guī)管特性及優(yōu)勢(shì)
寬量程:可以實(shí)現(xiàn)從1x10-9Torr(1x10-9mbar,1x10-7Pa)到大氣壓的連續(xù)真空系統(tǒng)特性監(jiān)控。熱量更少些。
簡(jiǎn)化的模塊設(shè)計(jì):電子器件和傳感器打包在一起組成一個(gè)緊湊、簡(jiǎn)便的安裝模塊,避免了多個(gè)規(guī)管、電纜和電子器件的需要。
控制系統(tǒng)簡(jiǎn)化:內(nèi)部集成的熱損失傳感器可以自動(dòng)控制激活和關(guān)斷電離規(guī),避免了額外的電離規(guī)控制需要。
RS-485、模擬量輸出及遠(yuǎn)程I/O:除了RS-485通訊和模擬量輸出意外,模塊還提供規(guī)管開/關(guān)、除氣、大氣校準(zhǔn),及鎖鍵盤的輸入控制連同規(guī)管、燈絲和除氣的狀態(tài)輸出。
工藝設(shè)定點(diǎn):繼電器觸點(diǎn)可以用來控制其他真空設(shè)備和提供安全互鎖。設(shè)定值可以通過本地顯示界面、RS-485或DeviceNet接口進(jìn)行調(diào)整。
本地顯示(選項(xiàng)):可以指示當(dāng)前點(diǎn)壓力值并能本地進(jìn)行工藝設(shè)定點(diǎn)調(diào)整的綠色LED顯示和按鈕改善了建立時(shí)間和診斷能力。
DeviceNet接口型:提供壓力測(cè)量的高速讀取并實(shí)現(xiàn)規(guī)管參數(shù)的簡(jiǎn)單配置。
DeviceNet網(wǎng)絡(luò)供電彈性化:規(guī)管供電既可以通過DeviceNet的微型接口實(shí)現(xiàn)也可以通過單獨(dú)的連接實(shí)現(xiàn)。
CE認(rèn)證:全金屬封裝具有高水準(zhǔn)的抗射頻干擾能力。
世界上zui小的復(fù)合規(guī):Micro-lon Plus復(fù)合了新的微型Conductron熱損失傳感器和一個(gè)Micro-lon傳感器在一個(gè)真空規(guī)管中,其體積不足傳統(tǒng)電離規(guī)10%。
高性能:完整的Micro-lon設(shè)計(jì)保留有獲的雙離子收集極從而增加了電子路徑和離子收集效率,在小容積內(nèi)提供高性能。
雙電離規(guī)燈絲:兩根耐燒斷的鍍氧化釔的銥絲實(shí)現(xiàn)了更長(zhǎng)的規(guī)管壽命。利用第二根燈絲做備份可使規(guī)管工作到正常的維護(hù)周期再更換,避免了意外停機(jī)。
工作溫度更低:Micro-lon規(guī)管只有傳統(tǒng)玻璃規(guī)或裸規(guī)功耗的8%,這就使得它產(chǎn)生的干擾工藝或試驗(yàn)的熱量更少些。
GP356真空計(jì)自動(dòng)調(diào)節(jié)開關(guān)點(diǎn)和模擬輸出
穩(wěn)固的全金屬設(shè)計(jì):焊接元件、真空燒結(jié)及裝配均在潔凈環(huán)境下完成,zui后將各元件封裝在不銹鋼外殼中以確保傳感器的集成。
接口篩網(wǎng):保護(hù)裝配及真空系統(tǒng)維護(hù)中電極組件不受損壞,提供穩(wěn)定的電氣環(huán)境改善測(cè)量性能。
真空接口的多種選擇:簡(jiǎn)化了規(guī)管在真空系統(tǒng)中的安裝。
更換規(guī)管:僅僅使用螺絲刀就可以快速便捷地更換規(guī)管。
(GP 356型真空計(jì))Micro-lon Plus規(guī)管技術(shù)參數(shù)
空氣或N2的壓力測(cè)量范圍(注釋1、2、3) | |
Torr | 1x10-9到大氣壓 |
Mbar | 1x10-9到大氣壓 |
Pa | 1x10-7到大氣壓 |
對(duì)氮?dú)獾木?/span> | 從1x10-8Torr到50Torr小于讀數(shù)的15%(見注釋4) |
重復(fù)性 | 從1x10-8Torr到50Torr小于讀數(shù)的15%(見注釋5) |
電離規(guī)發(fā)射電流 | 自動(dòng)切換 |
電離規(guī)自動(dòng)控制設(shè)定(默認(rèn))(見注釋6) | |
電離規(guī)自動(dòng)啟動(dòng) | 2x10-2Torr;3x10-2mbar,3Pa(壓力逐漸減?。?/span> |
切換至高發(fā)射(4.0mA) | 5x10-6Torr;7x10-6mbar,7x10-4Pa(壓力逐漸減?。?/span> |
切換至低發(fā)射(0.1mA) | 1x10-5Torr;1x10-5mbar,1x10-3Pa(壓力逐漸增加) |
電離規(guī)停止 | 3x10-2Torr;4x10-2mbar,4Pa(壓力逐漸增加) |
電離規(guī)除氣 | 電子轟擊;3.75W帶2分鐘累時(shí)器 |
電離規(guī)燈絲選擇 | 交替(默認(rèn))(見注釋7) |
重量 | 567g(20oz)(帶NW16KF法蘭) |
供電 | 24VDC+/-15%,zui大26W |
工作溫度 | 環(huán)境溫度0-400C,不結(jié)露 |
非工作溫度 | -40-+700C(-40-+1580F) |
外殼材料 | 鑄鋁 |
CE認(rèn)證 | |
EMC電磁兼容指令 | 89/336/EEC;EN50081-2,EN50082-2 |
低壓指令 | 73/23/EEC;EN61010-1 |
顯示選項(xiàng) | 兩位數(shù)顯加指數(shù),綠色LED |
觸點(diǎn)繼電器 | 兩個(gè)單刀雙擲開關(guān)(SPDT) |
繼電器觸點(diǎn)額定值 | 1A 30VDC阻抗,無感 |
范圍 | 1x10-9到50Torr;1x10-9到70mbar,1x10-7到7Pa |
Micro-lon Plus規(guī)管 | |
X射線極限 | <3x10-10Torr;<4x10-10mbar; <4x10-8Pa |
電離規(guī)材料 | 銥絲鍍氧化釔 |
熱損失傳感絲材料 | 鎢絲鍍金 |
接觸真空的材質(zhì) | 304不銹鋼,鉭,鎢,鎳,鐵鎳合金,硅酸硼玻璃 |
內(nèi)部容積 | 10.8cm3,(0.67inch3)至管口 |
規(guī)管烘烤溫度 | 1500C(電子器件移除) |
GP 356型真空計(jì)注釋:
測(cè)量結(jié)果會(huì)隨不同氣體和混合情況而改變。
Micro-lon Plus模塊不能用于易燃易爆氣體測(cè)量。
大氣壓的數(shù)值是基于標(biāo)定時(shí)環(huán)境壓力而定的。
精度(規(guī)管讀數(shù)和校驗(yàn)參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異)是通過數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。
重復(fù)性是指同一模塊在不同時(shí)間讀取相同壓力值的能力。
高發(fā)射和低發(fā)射 模式的默認(rèn)切換點(diǎn)可以通過數(shù)字接口進(jìn)行調(diào)整。
模塊將隨著電離規(guī)的每次開啟交替點(diǎn)亮兩根燈絲,除非您通過數(shù)字接口將模式選成自動(dòng)(AUTO)。在自動(dòng)模式下,燈絲1會(huì)用到失效。任何一個(gè)燈絲失效,模塊都會(huì)自動(dòng)切換到好的那根燈絲工作。
X射線極限是規(guī)管的zui小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進(jìn)行重復(fù)測(cè)量。
GP 356真空計(jì)尺寸
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