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簡要描述:MAXTEK晶振片質量和壽命不僅影響速率和厚度測量的準確性,更重要的是還決定著受控制的過程能否成功完成。INFICON 石英晶體具有經過實踐驗證的品質和可靠性,其在各種材料、應用和行業(yè)中的無數(shù)次成功的過程運行充分證明了這一點。
詳細介紹
品牌 | Inficon/英???/td> | 產地 | 進口 |
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加工定制 | 否 |
MAXTEK晶振片
如果選用zui合適的晶振片?
金是zui廣泛使用的傳統(tǒng)材料,它具有低接觸電阻,高化學穩(wěn)定性,易于沉積。用于低應力材料,如Al、 Au、Ag、Cu。
銀是接近*的電極材料,有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而容易硫化,硫化后的銀接觸電阻高,降低晶振片上膜層牢固。銀鋁合金適合高應力膜料的鍍膜監(jiān)控;所以使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應力膜,如:Ni、 Cr、 Mo、 Zr、 Ni-Cr、 Ti等。
使用銀鋁合金晶振片鍍介質光學膜,如:MgF2、 SiO2、 Al2O3、 TiO2等
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