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簡要描述：新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(jì)（PPG550）基于*的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)。在MEMS工 藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術(shù)能夠構(gòu)建非常小且節(jié)省空間的傳感器。皮拉尼基于MEMS技術(shù)，在低真空范 圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼測量得更深、更準(zhǔn)確。
產(chǎn)品型號(hào)：PPG550廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2024-12-27訪 問 量：428產(chǎn)品資料：查看pdf文檔詳細(xì)介紹
| 品牌 | Inficon/英?？?/td> | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
皮拉尼壓電真空計(jì) PPG550
新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(jì)（PPG550）基于 先進(jìn)的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)。在MEMS工 藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術(shù)能夠構(gòu)建非常小且節(jié) 省空間的傳感器。皮拉尼基于MEMS技術(shù)，在低真空范 圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼測量得更深、更準(zhǔn)確。該真空計(jì)與安裝 在同一法蘭中的MEMS壓電傳感器相結(jié)合，成為真正的 真空寬量程真空計(jì)，將測量范圍擴(kuò)展到遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過通常的 1000毫巴。在2...1333毫巴傳感器的MEMS壓電部分提供 獨(dú)立于氣體類型的壓力測量。PPG550可用于直接插入式 替代MKS910 “DualTrans™Micro皮拉尼™-絕對壓電真 空壓力傳感器"以及MKS925“Micro-皮拉尼™真空壓力傳 感器“。PPG550提供相同的連接口/接口分配、模擬量輸 出和RS232/485兼容性。
優(yōu)勢:•多安裝方式——在工具設(shè)計(jì)中提供工程自由度
•在2毫巴以上氣體類型獨(dú)立——允許與任何氣體混合物安全通風(fēng)
•在大氣中具有高精度和可重復(fù)性——可靠、快速的大氣壓力檢測
•安裝方向多樣——在工具設(shè)計(jì)中提供工程自由度
•可選擇模型輸出信號(hào)，便于系統(tǒng)集成 •數(shù)字接口RS232/RS485
•直接插入式替換MKS910“DualTrans™Micro皮拉尼™"和MKS925“Micro-皮拉尼™"（馬薩諸塞州安多弗市MKS儀器 公司的商標(biāo)）
•合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、CSA、RoHS
應(yīng)用范圍：•用于分析設(shè)備/質(zhì)譜儀
•物理氣相沉積
•前級測量
•氣體回填
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