IRG080電離真空計(jì)介紹

       IRG080 提供低至 1% 的精度、可預(yù)測(cè)的氣體靈敏度和非常小的擴(kuò)散、非常好的短期可重復(fù)性和再現(xiàn)性。該測(cè)厚儀是計(jì)量和校準(zhǔn)的理想解決方案。IRG080 由 IRC081 顯示器和操作單元連接和控制。

優(yōu)勢(shì):

1為在高真空和超高真空范圍內(nèi)需要高測(cè)量精度的應(yīng)用而開(kāi)發(fā)

2符合 ISO TS 6737 的電極系統(tǒng)配置

3由于可預(yù)測(cè)的相對(duì)氣體靈敏度和較小的不確定性，所有氣體種類(lèi)的真實(shí)壓力

4穩(wěn)定的電子發(fā)射，不受ESD或X射線(xiàn)效應(yīng)的影響

5可重復(fù)且易于運(yùn)輸

6可烘烤至 165 °C（使用耐溫電纜）或高達(dá) 400 °C（不帶連接器單元）

7用于磁屏蔽的Mu金屬中間

運(yùn)營(yíng)單位:離子參比計(jì)控制器 IRC081

參考標(biāo)準(zhǔn)：

1N 的精度低于 1%2

2可預(yù)測(cè)的氣體靈敏度，擴(kuò)散非常小 （<1.5%）

3真正的總壓力測(cè)量

4ji jia的短期重復(fù)性 （<1%） 和重現(xiàn)性 （<1%）

測(cè)量原理：電子離開(kāi)陰極（左側(cè)），被陽(yáng)極加速至200 eV，由離子收集器聚焦。電子路徑的長(zhǎng)度是很好的表征，因此儀表的靈敏度是可預(yù)測(cè)的。陽(yáng)極柵內(nèi)電子產(chǎn)生的離子被加速到集電極并測(cè)量為電流。陽(yáng)極柵外產(chǎn)生的離子被導(dǎo)流板捕獲。

一個(gè)完整的軟件包：

1通過(guò)離子參比計(jì)控制器IRC081的操作和顯示界面

2用戶(hù)可以控制 IRG080 儀表參數(shù)

3IRC081 用戶(hù)界面軟件 （LabVIEW ） 中顯示的設(shè)置和測(cè)量值TM系列)

4數(shù)據(jù)和參數(shù)記錄功能

規(guī)格：

測(cè)量系統(tǒng)    熱陰極電離

電極系統(tǒng)配置    符合 ISO TS 6737 標(biāo)準(zhǔn)

測(cè)量范圍 （N2） 帶 IRC081 控制器<1×10-8...1×10-4毫巴    

靈敏度 （N2，典型值）    29 毫巴-1

精度 （N2，典型值）    閱讀量的<±1%

重復(fù)性 （N2)    閱讀量的<1%    

饋通    鋁2O3陶瓷

烘烤溫度    ≤400°C

暴露在真空中的材料    不銹鋼、鎳鐵鈷、鋁2O3、塔、西