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簡要描述：真空矩形閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)之鍍膜設(shè)備，安裝于生產(chǎn)線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與制程腔室（process chamber）等需要真空與壓力分隔的地方。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2024-12-27訪 問 量：1493產(chǎn)品資料：相關(guān)文章
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
產(chǎn)品應(yīng)用
Htc真空矩形閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的真空閥，外形尺寸小，設(shè)計(jì)緊湊，所有動(dòng)件皆位于大氣側(cè)因而與真空側(cè)隔絕，可減少粉塵產(chǎn)生，并提升產(chǎn)品的使用壽命。另外還有無氣壓時(shí)的封合自鎖保護(hù)，封板快速拆裝設(shè)計(jì)易維修等優(yōu)點(diǎn)。
設(shè)計(jì)原理/特征
l 低振動(dòng)及低粉塵設(shè)計(jì)(Low vibration and Low particle)
l 利用凸輪機(jī)構(gòu)與彈簧完成封板封合動(dòng)作。
l 雙氣壓缸、單出力軸驅(qū)動(dòng)。
l 驅(qū)動(dòng)軸桿封合頂緊輔助裝置。
l 無氣壓時(shí)的封合自鎖保護(hù)裝置。
l 封板快速拆裝設(shè)計(jì)，方便O-ring維修更換。
l 100 萬周期壽命。
真空矩形閥分類
l 標(biāo)準(zhǔn)型矩形閘閥(Standard Rectangular Transfer valves)
l 標(biāo)準(zhǔn)型矩形門型閘閥(Rectangular doors)
l 大型矩形閘閥(Large rectangular transfer valves)
l 大型矩形門型閘閥(Large rectangular doors)
Body 材質(zhì)
鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)
Body 表面處理
電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)
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