真空規(guī)管一般是裝在真空鍍膜室的位置，是指電離規(guī)管，玻璃管端部用老虎鉗夾破一點，插進真空室密封好，必須大氣狀態(tài)完成。（還有電阻規(guī)它是測粗真空的，這種沒有規(guī)管，就一個傳感器）用來監(jiān)測真空度的，，電離規(guī)開啟一般是有要求的，當壓強到3PA以下才開真空，可設(shè)置壓強參數(shù)，到了會自動開，過早開會氧化電離規(guī)，導致燒壞