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石英晶振片的原理
石英晶振片的原理
更新時間:2015-09-18 點擊次數(shù):2602
隨著經(jīng)濟的發(fā)展和社會生活水平的提高,真空鍍膜技術在越來越多的領域使用,如何監(jiān)控淀積的膜厚,目前采用石英晶體振蕩監(jiān)控法和光學膜厚監(jiān)控法,我司多年來的經(jīng)驗與同仁共同控討。
石英晶振片
原理
石英晶體法監(jiān)控膜厚,主要是利用了石英晶體的壓電效應和質量負荷效應。當晶振片上鍍了某種膜層,使晶振片的厚度增加,則晶振片的固有頻率會相應的變化。
顯然晶體的基頻越高,控制的靈敏度也越高,但基頻過高時,晶體片會做得很薄,很薄的晶體片易碎,一般選用AT切型頻率5~10MHz。采用AT切晶體片,其振動頻率對質量的變化極其靈敏,但卻不敏感于溫度的變化,具有精度高、靈敏度好等*的優(yōu)勢,非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監(jiān)控。
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