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雙極旋片真空泵的問與答
1、Q:雙極旋片真空泵可以應(yīng)用到哪些行業(yè)?
A:深圳市科銳詩汀科技有限公司代理的旋片泵可廣泛應(yīng)用于太陽能、光學(xué)、薄膜、冶煉、鑄造、熱處理、手機(jī)、半導(dǎo)體、建材、微電子、平板顯示、Low-E玻璃、裝飾品等行業(yè),在PVD、CVD、MBE、電廠凝氣器、油脂精煉系統(tǒng)、鋰電池干燥系統(tǒng)、直接蒸發(fā)系統(tǒng)、化工蒸發(fā)、蒸餾、濃縮系統(tǒng)、原料藥三合一干燥系統(tǒng)、食品脫水系統(tǒng)、冶金工業(yè)、鋼包脫氣、航天模擬實驗、包裝等行業(yè)中體現(xiàn)了明顯優(yōu)勢。
2、Q:我要抽到100Pa(1mbar),可以選旋片泵嗎?
A:可以。在泵的選型上要注意降低一個數(shù)量級:如果要抽到100Pa,則泵必須能抽到10Pa,還要考慮腔體的漏率,如果漏率較大,需要維持額定的真空度,還要選擇更小的極限真空度,旋片式真空泵通常有單級和雙極二種,是市場上使用廣泛的真空泵之一。雙極旋片泵的極限真空度一般在1x10-1Pa,好的能達(dá)到5x10-²Pa。
3、Q:雙級旋片泵的抽速怎么選?
A: 需要考慮待抽腔體的大小、在多長時間內(nèi)抽到多大的真空度。如果不懂計算,可以交給深圳科銳詩汀的專業(yè)工程師幫您計算選型。另外還有一個技巧,就是寧愿選擇稍大一點抽速的泵,會使設(shè)備更游刃有余。
4、Q:旋片泵抽速較小,腔體較大,對時間無要求,多抽一段時間就可以了吧?
A: 不可以。旋片式真空泵其結(jié)構(gòu)主要有定子,轉(zhuǎn)子,端蓋和旋片等組成。轉(zhuǎn)子偏心安裝在定子孔內(nèi),轉(zhuǎn)子開槽。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,旋片在槽內(nèi)依靠離心力保持和定子孔內(nèi)壁緊密接觸,并沿孔壁在槽內(nèi)進(jìn)行滑動,使泵腔容積不斷發(fā)生大小變化,再通過排氣閥片,從而完成吸氣,壓縮與排氣過程,達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果泵不能短時間內(nèi)抽到較低的真空度,勢必長時間高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子就可能發(fā)熱膨脹,由于其與內(nèi)壁緊密接觸,就會發(fā)生堵轉(zhuǎn),從而失去抽真空的功能。
5、Q:雙極旋片泵,可以抽水汽嗎?
A:少量水汽是可以的,但大量的不行。旋片式真空泵在結(jié)構(gòu)形式上一般采用雙級油浸式,即整個泵體浸在油箱內(nèi)的泵油中,油箱內(nèi)部有冷卻系統(tǒng),可進(jìn)行水冷卻降低泵在氣體壓縮過程中產(chǎn)生大量壓縮熱。(小泵無需水冷卻)。抽的氣體是經(jīng)過泵油的,如果氣體內(nèi)含有大量水蒸氣,極易造成泵油乳化。
6、Q:雙極旋片泵還有哪些氣體不能抽?
A:雙擊旋片泵不適宜抽除含氧過高,有毒,易爆炸,對金屬有腐蝕作用以及含有顆粒狀塵埃的氣體,也不適用輸送氣體和長時間暴露大氣運(yùn)轉(zhuǎn)。
7、Q:為什么在使用雙極旋片泵是會有油氣噴出來?如何解決?
A: 旋片式真空泵作為前級泵,一般是從標(biāo)準(zhǔn)大氣壓抽到1Pa以下,由于整個泵體浸在油箱內(nèi)的泵油中,在剛啟動的時候,大量氣體涌入,極易將泵油帶出泵體,但隨著壓力的下降,氣體越來越稀薄,啟動的一剎那之后,并不會再有泵油被帶出。當(dāng)然這會給一些對環(huán)境潔凈度有要求的客戶造成困擾,可以配置專業(yè)的油污過濾器。