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技術(shù)文章
| 直流電源 | 低/中頻系列 | 網(wǎng)絡(luò)匹配器 | 射頻系列 | 射頻測(cè)量?jī)x器 |
| 直流脈沖產(chǎn)品套件 PINNACLE 系列 Pinnacle Plus+ Pinnacle3000 Pinnacle Diamond™ MDX 系列 500 W MDX 系列 1 kW 與 1.5 kW ® | PDX PEII 低頻系列 LFGS RAS Crystal | Navigator 數(shù)位字匹配系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò) VarioMatch™ | Paramount Apex HFV Cesar HiLight Integro Ovation | GenCal |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 功能廣泛靈活的直流脈沖附件系列通過(guò)允許在更大功率下運(yùn)行，提高吞吐量減少靶材污染提高 10-200kW 的功率提供 2-100kHz 的固定和可變頻率 | 出色的弧控制——在很多情況下，弧*被消除。離子能量更高更大功率運(yùn)行基材溫度更低靶材溫度更低工藝靈活性和寬容度系統(tǒng)整合容易雙陰極功能（Astral® 產(chǎn)品） |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| zui低的運(yùn)行和安裝成本業(yè)界zui快的弧反應(yīng)時(shí)間可配置的弧反應(yīng)參數(shù)zui大的工藝效率的工藝控制 | zui低的存儲(chǔ)能量——每千瓦輸出不到 1mJ 無(wú)需調(diào)節(jié)輸出變壓器 4:1的阻抗范圍靶材處理時(shí)間——zui大限度地縮短新靶材的處理時(shí)間 ±0.1%的輸出重復(fù)性 Joule 模式——*化的能量傳送 |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 更高的沉積率與產(chǎn)品率薄膜均勻性和品質(zhì)*成弧造成的基材損壞減少成本更低系統(tǒng)整合容易的工藝靈活性和寬容度重復(fù)性能在過(guò)度曲線上運(yùn)行穩(wěn)定吞吐量更高便于監(jiān)控的系統(tǒng)靈活性 | 一個(gè)緊湊型封裝頻率調(diào)節(jié)范圍為 5-350kHz 占空比高達(dá)45% 電壓范圍寬——單輸出寬阻抗范圍大功率運(yùn)行基材溫度低單輸出（5kW 和 10kW 型號(hào)）用于雙陰極生產(chǎn)的雙輸出（雙路5kW 型號(hào)）的弧控制反應(yīng)性濺射閉環(huán)控制 |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 經(jīng)過(guò)證明的 Pinnacle 性能和可靠性zui大的工藝效率——zui低的運(yùn)行和安裝成本通用性——在濺射工藝和偏壓應(yīng)用上均表現(xiàn)出色快速、可配置的弧反應(yīng)——弧損傷少的工藝控制多種顯示/控制選擇符合安全/輻射標(biāo)準(zhǔn) | 業(yè)界zui高的效率和功率因素緊湊——在一個(gè) 2-U、1/2支架封裝中，功率達(dá) 3000W 單輸出抽頭，疲憊范圍廣泛 Profibus 和 RS-232 串行通信靶材處理時(shí)間——zui大限度地縮短新靶材的處理時(shí)間僅400 VAC 輸入存儲(chǔ)能量低——每千瓦輸出不到6 mJ 在大于15%的功率下，輸出重復(fù)性為±0.1% Joule 模式——*化的能量傳送對(duì)輸出電平、擊穿電壓和工藝電壓的可編程限制儲(chǔ)存設(shè)定自動(dòng)保存有 CE 標(biāo)志 |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 經(jīng)過(guò)證明的 Pinnacle 性能和可靠性zui大的工藝效率——zui低的運(yùn)行和安裝成本通用性——在工藝和偏壓應(yīng)用上均表現(xiàn)出色快速、可配置的弧反應(yīng)——弧損傷少眾多顯示/控制選項(xiàng)的工藝控制符合安全/輻射標(biāo)準(zhǔn) | 業(yè)界zui高的效率和功率因素緊湊——在一個(gè) 3-U、1/2支架封裝中，功率高達(dá) 15kW 單輸出抽頭，匹配范圍廣泛 Profibus 和 RS-232 串行通信靶材處理時(shí)間——zui大限度地縮短新靶材的處理時(shí)間水冷式僅400 VAC 輸入存儲(chǔ)能量低——每千瓦輸出不到6 mJ 在大于15%的功率下，輸出重復(fù)性為±0.1% Joule 模式——*化的能量傳送對(duì)輸出電平、擊穿電壓和工藝電壓的可編程限制儲(chǔ)存設(shè)定自動(dòng)保存有 CE 標(biāo)志 |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 超載內(nèi)置保護(hù)可靠性和耐用性快速反應(yīng)時(shí)間兼容性認(rèn)證 | 多級(jí)弧抑制及滅弧用戶I/O接入功率、電流或電壓調(diào)節(jié)功能 |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 針對(duì)標(biāo)準(zhǔn) Z 和低 Z 應(yīng)用的兩種配置高頻開(kāi)關(guān)電路從線路到負(fù)載的效率超過(guò)90% Arc-Out™ 抑制電路常用作直流磁控濺射電源 | 尺寸小輸出紋波很低可調(diào)節(jié)抑弧 |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 的填隙*的表面均勻性降低了附加消耗強(qiáng)有力的監(jiān)控減少了無(wú)塵室空間要求廣泛的配置選擇 | 通用波形形成多達(dá)三個(gè)獨(dú)立控制的通道雙極脈沖直流電輸出，0-5kHz 高電流能力四終端控制和晶圓的電壓測(cè)量主機(jī)接口緊湊型封裝 |
| 優(yōu)點(diǎn) | 功能 |
| 恒功率、電壓或電流輸出zui高的靈活性與模塊性強(qiáng)大的電弧控制自動(dòng)制程保護(hù)裝置極寬的祖抗匹配范圍高功率密度 | 5 kW 和 10 kW 選項(xiàng)（主/從至多達(dá)到60 kW）內(nèi)部負(fù)載匹配（10:1 阻抗范圍）兩種不同的弧處理電路能、緊湊型水冷式設(shè)計(jì)多種可選配件符合 CE 標(biāo)準(zhǔn) |
| 優(yōu)點(diǎn) | 功能 |
| 可達(dá)到目前市場(chǎng)上可獲得的zui低反射功率 | 空冷式設(shè)計(jì)多功能前面板脈沖模式：0到 10kHz 更完善的操作功能表 2個(gè)模擬用戶端口 RS-232 接口、以太網(wǎng)接口及 PROFIBUS 接口 |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 消除了陽(yáng)極消失的現(xiàn)象便于對(duì)現(xiàn)有的單陰極系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)減小了系統(tǒng)的空間要求能夠?qū)崿F(xiàn)高速率的介質(zhì)反應(yīng)濺射確保了均勻的沉積率促進(jìn)電力的有效使用，簡(jiǎn)化維護(hù)成本低于雙陰極結(jié)構(gòu)幾乎消除了弧 | 單陰極結(jié)構(gòu)自清洗雙陽(yáng)極低頻直流電源輸入基材偏壓便于改進(jìn)的設(shè)計(jì) |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 更靈活產(chǎn)量更高減少當(dāng)機(jī)時(shí)間吞吐量提高 | 寬阻抗匹配低頻率正弦工藝電源大功率電源——zui大180kW 功率專(zhuān)為等離子環(huán)境而設(shè)計(jì) |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 加強(qiáng)了工藝控制zui大限度地減小反射功率加速反應(yīng)時(shí)間有助于提高工具吞吐量和產(chǎn)量 | 數(shù)碼匹配平臺(tái)多種數(shù)碼調(diào)諧算法實(shí)時(shí)過(guò)程功率和阻抗測(cè)量與分析整合式儀器簡(jiǎn)化的設(shè)計(jì)嚴(yán)格的測(cè)試基于 PC 的監(jiān)控軟件 |
| 優(yōu)點(diǎn) | 功能 |
| 擁有更強(qiáng)的靈活性，可在更廣的阻抗范圍內(nèi)進(jìn)行功率匹配操作 Greater process productivity Easy integration and control | 空冷式設(shè)計(jì)可變真空電容器多種匹配接頭，阻抗范圍非常廣 Automatic, manual, and pre-set modes Plug-and-play operation High-performing components Reliable connectors Wide impedance range Digitally controlled tuning with inligent motor driver technology DC bias measurement circuit |
| 優(yōu)點(diǎn) | 特點(diǎn) |
| 憑借的功率輸送精度，實(shí)現(xiàn)的薄膜均勻度與傳送效能（throughput）的*化以更快的制程轉(zhuǎn)換來(lái)支持新一代蝕刻與沉積制程幫助實(shí)現(xiàn)無(wú)縫的制程轉(zhuǎn)換提高產(chǎn)量實(shí)現(xiàn)zui大化< | 新一代測(cè)量系統(tǒng)能夠在所有輸出范圍內(nèi)（50歐姆和非50歐姆負(fù)載）對(duì)功率和阻抗進(jìn)行極的測(cè)量近乎瞬間的頻率調(diào)諧（可選）可選脈沖和同步脈沖的脈沖頻率范圍很寬廣可選的 HALO（高度、低輸出）及弧管理系統(tǒng)緊湊半機(jī)架型外觀設(shè)計(jì) |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 更高的功率密度更好的工藝靈活性產(chǎn)量提高持有成本降低簡(jiǎn)化工藝工具整合靈活的通信 | 簡(jiǎn)化的設(shè)計(jì)真空室安裝、框架安裝、支架安裝和鞋盒式 （shoebox） 選擇寬帶控制回路和可選的高重復(fù)率脈沖業(yè)界的弧管理符合監(jiān)管要求 |
| 優(yōu)勢(shì) | 特點(diǎn) |
| 提高了 run-to-run 準(zhǔn)確性具有通用性提高了可靠性增強(qiáng)了工藝靈活性降低了持有成本 | 可定制的頻率調(diào)諧參數(shù)輸出頻率范圍為1.765-2.165 MHz 3、5和8 kW 的輸出功率電平數(shù)字合成頻率輸出微處理器控制 |
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