電容膜片真空計的來源及性能介紹

更新時間：2014-03-04 點擊次數(shù)：3025

真空計是高精度總壓強測量和控制的*選擇。為達到優(yōu)異的半導體和等離子過程要求的性能，將CDG100D真空計的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇，配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口，和提供線性的0至10伏與氣體類型無關的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點是訊號穩(wěn)定性好，從大氣壓恢復快，預熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質(zhì)量，成本效益好的壓強傳感器，用于半導體，等離子和各項要求高的真空應用中。

根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規(guī)管又稱為電容式壓力傳感器和測量儀器兩部分組成。根據(jù)測量電容的不同方法，儀器結構有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構

科銳詩汀電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。數(shù)字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點。如一鍵調(diào)零功能和設點調(diào)整。抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性與預期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。*的傳感器屏蔽（技術）保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結構和數(shù)字電子學加強了EMC兼容性，長期穩(wěn)定性和溫度補償性。CDG025D真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準。

電容膜片真空計*性：的滿量程穩(wěn)定性 – 與氣體類型無關；抗腐蝕的氧化鋁傳感器；超小型, 同類產(chǎn)品中尺寸zui小；易集成, 任何方位安裝；數(shù)字訊號處理；無需維護。電容膜片真空計用途：真空鍍膜；真空監(jiān)測；消毒滅菌；食品和包裝；真空爐, 拉晶器；分析；化學真空過程。

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